潔凈室技術(shù)的發(fā)展之道
從潔凈室來說,它是一個比較全面的,由于時刻的聯(lián)系,咱們不能做悉數(shù)的介紹,只能從空調(diào)方面來做介紹。它關(guān)于咱們國家來說,也是革命性的環(huán)境的解決計劃。
這是咱們典型的前期的計劃,這一塊的半導(dǎo)體工廠的人員、車間都是在這個位置。那么,上下都是新風(fēng)機,那么它的作業(yè)原理是在天花頂層有一個重復(fù)的高效作用器。這上面兩個是循環(huán)空調(diào)機,也能夠放在上面,也能夠放在旁邊面。經(jīng)過新風(fēng)機組彌補新風(fēng),經(jīng)過循環(huán)風(fēng)機把潔凈室經(jīng)過地上下來的回風(fēng),經(jīng)過循環(huán)風(fēng)機關(guān)于冷量和濕度的調(diào)理,然后送到靜壓箱進(jìn)行混合,然后經(jīng)過頂部循環(huán)到車間里邊去。這么,使咱們悉數(shù)的氣體,跟咱們大型的空調(diào)不一樣。咱們大型的空調(diào)也許只要幾個功用,這兒是一切的空氣從頂層悉數(shù)壓下來。這是咱們第一步完成的現(xiàn)代潔凈室的原理,它到達(dá)了100級以上。
100級是什么概念呢?舉個比如,今日咱們在做的環(huán)境,是咱們看到的十分潔凈的環(huán)境,應(yīng)該是多少級呢?是200萬到300萬級,即是每立方英尺大于5個顆粒,即是相當(dāng)于3.05平方米,這么大的體積里邊所擁有的超越0.5以上的微米是多少。那么,咱們今日這個環(huán)境,我估量在200萬到300萬G。那么,這么的潔凈室,到達(dá)的是100微米,即是不能超越100微米,得小于100微米。 咱們的集成電路在封裝之前,它的導(dǎo)線咱們國家保存地說是0.08微米,也有說是0.07微米。所以,三個電路發(fā)作出來的悉數(shù)是這個,所以環(huán)境關(guān)于成品是十分關(guān)鍵的。這是到達(dá)了100級的潔凈室。
那么,到了90年代末期,比如說長虹等等的廠家,咱們弄了一個909工程開端上馬了。潔凈室的建筑面積到達(dá)了1萬3千平方米,凈化面積是1G。那么方才說的是100級,那么如今說的是1級。方才我講的0.5微米以上是100級,那么這兒要求的是更高,是0.12微米。所以潔凈室的技能進(jìn)一步進(jìn)步了。
經(jīng)過干盤管進(jìn)行溫度的交流,在兩頭從這兒往上走。走到咱們上面的靜壓箱,然后經(jīng)過別的一個全新的設(shè)備,即是FFU,這是什么意思呢?即是高效空氣過濾單元,經(jīng)過它往下走。新風(fēng)空調(diào)機在這兒,咱們要往上送,它從創(chuàng)新的視點中心上來說,即是用了FFU這個東西。 它從作業(yè)原理上,解決了咱們前面一個原理。前面一個進(jìn)程是什么呢?雖然是徹底從頂上壓下來,咱們空氣潔凈決議空氣的氣流構(gòu)成方式。即是從理論上,要嚴(yán)格地每一個空氣都筆直下來,悉數(shù)地壓下來。這么的話,咱們的空氣會相本地潔凈。可是,事實上做起來會十分艱難。 艱難作哪里?咱們能夠看到,它是經(jīng)過外部的風(fēng)機把它送上去,送進(jìn)去今后在這兒往下壓。那么,這必定存在著一個阻力不平衡的疑問,那么阻力大的地方風(fēng)速就大,阻力小的地方風(fēng)速就小,就不能嚴(yán)格地確保這個風(fēng)體的筆直性。
咱們這兒把悉數(shù)的屋面,確保筆直的情況下,這么才干做到1級。1級是什么概念?即是1平方米只能是1微米,可是做可不能這么,由于你思考不能依照60分考,你依照60分考,你就也許是58分。所以,你要依照70分、80分去考,所以1微米等于是沒有做。
到了這個等級咱們的凈化是跟FFU的物質(zhì)密度有聯(lián)系,那么物質(zhì)密度越大,氣流就越多,可是帶來的疑問是關(guān)于悉數(shù)空氣循環(huán)的量十分大。那么,咱們這邊通道的要求就要很寬闊,那么空氣的量越大,關(guān)于空氣處理的量就越大。咱們空氣每發(fā)作一次循環(huán),就有一個溫升,溫度就要進(jìn)步,所以冷卻。所以,它處理的量就大了,那么這邊的阻力就加大了。